เซ็นเซอร์วัดความชื้นด้วยเทคโนโลยีแสงซินโครตรอน  ความชื้นในอากาศนั้นเป็นสิ่งสำคัญต่อกระบวนการผลิตในอุตสาหกรรมหลายประเภท อาทิ อุตสาหกรรมยา อาหารและอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เป็นต้น นอกจากนั้น ในทางการแพทย์ยังมีความต้องการที่จะใช้ตัวตรวจวัดความชื้นในการวินิจฉัยโรคจากลมหายใจของผู้ป่วย ด้วยเหตุผลเหล่านี้ ทำให้เทคโนโลยีการตรวจวัดความชื้นได้ถูกพัฒนาขึ้นหลายรูปแบบ เพื่อให้เหมาะสมต่อการใช้งานหลากหลายด้าน  

          สถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน) ได้สนับสนุนทุนวิจัยแก่ นายมาโนทย์ มาปะโท นักศึกษาปริญญาเอกมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี เพื่อศึกษาการสร้างอุปกรณ์ตรวจวัดความชื้น หรือ เซนเซอร์วัดความชื้นสัมพัทธ์ (Relative Humidity Sensor) โดยใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอกซ์ ณ ระบบลำเลียงแสง BL6a ห้องปฏิบัติการแสงสยาม จากผลการศึกษา พบว่ารูปแบบโครงสร้างที่ความเหมาะสมสำหรับการสร้างตัวตรวจวัดความชื้น คือ โครงสร้างที่มีลักษณะเป็นซี่ยาว และปิดทับด้วยอิเล็กโทรดโลหะ ลักษณะคล้ายซี่หวีซ้อนกันเชื่อมต่อกันกับจุดเชื่อมต่อไปยังวงจรภายนอก โดยความไวของตัวตรวจวัดความชื้นที่มีโครงสร้างแบบนี้ สามารถควบคุมได้ด้วยการแปรค่าความหนาของชั้นวัสดุไวต่อความชื้น ซึ่งชั้นของวัสดุไวต่อความชื้นที่บางจะช่วยให้ตัวตรวจวัดความชื้นมีความไวสูง นอกจากนี้ความเร็วในการตอบสนองก็ยังขึ้นกับขนาดความกว้างของซี่อิเล็กโทรด กล่าวคือ เมื่อซี่ของสารไวความชื้นมีขนาดความกว้างลดลง เวลาในการตอบสนองจะลดลง