Photoelectron Emission Spectroscopy (PES) เป็นกลุ่มเทคนิคการทดลองเพื่อใช้วิเคราะห์และศึกษาคุณสมบัติบริเวณพื้นผิวของวัสดุโดยอาศัยหลักการจากปรากฏการณ์โฟโตอิเล็กตริก (Photoelectric effect) (สามารถอ่านเพิ่มเติมได้จาก บทความ)
เทคนิคการทดลองสามารถทำได้โดยฉายแสงที่มีค่าพลังงานหรือความยาวคลื่นค่าเดียว (mono-energetic) ที่โดยทั่วไปอยู่ในย่านของ UV ถึง X-ray ลงบนพื้นผิวของวัสดุหรือตัวอย่างที่ต้องการวิเคราะห์ หากแสงที่ฉายมีค่าพลังงานสูงกว่าค่าพลังงานยึดเหนี่ยว (binding energy: BE) ของอิเล็กตรอนในอะตอมที่เป็นองค์ประกอบของตัวอย่าง อิเล็กตรอนจะถูกกระตุ้นให้หลุดออกจากอะตอมและพื้นผิวของวัสดุจากปรากฏการณ์โฟโตอิเล็กตริก อิเล็กตรอนที่หลุดออกมาเรียกว่าโฟโตอิเล็กตรอน (photoelectron) ซึ่งอิเล็กตรอนเหล่านี้จะถูกตรวจวัดค่าพลังงานจลน์ (kinetic energy:KE) ด้วยอุปกรณ์ที่เรียกว่า electron energy analyser โดยค่าพลังงานจลน์ของอิเล็กตรอนที่วัดได้มีความสัมพันธ์กับค่าพลังงานยึดเหนี่ยวของอิเล็กตรอน ดังสมการ
KE= hν - BE – eΦ
ในที่นี้ hν คือค่าพลังงานของแสงที่ใช้และ eΦ คือค่า work function ของ electron energy analyser
เทคนิคในกลุ่ม PES อาจสามารถแบ่งย่อยออกได้ตามค่าพลังงานของแสงที่ใช้กระตุ้นและการวิเคราะห์พลังงานของโฟโต้อิเล็กตรอน เช่น เทคนิค X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) และเทคนิค Angle-Resolved Photoemission Spectroscopy (ARPES)
เทคนิค XPS หรือที่รู้จักกันในชื่อ Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA) ใช้แสงในย่านของ soft X-ray เพื่อการกระตุ้นให้เกิดโฟโต้อิเล็กตรอนและเน้นที่การวิเคราะห์ค่าพลังงานยึดเหนี่ยวของอิเล็กตรอนชั้นในสุด (core electron) เนื่องจากค่าพลังงานดังกล่าวเป็นค่าเฉพาะของอะตอมในแต่ละธาตุและขึ้นอยู่กับสถานะทางเคมีของอะตอมนั้น การวิเคราะห์ดังกล่าวจึงสามารถระบุชนิดและสถานะทางเคมีของธาตุที่เป็นองค์ประกอบบริเวณพื้นผิวของสารที่ต้องการวิเคราะห์ได้
เทคนิค XPS สามารถประยุกต์ใช้กับพื้นผิววัสดุหลากหลายชนิด เช่น โลหะ สารกึ่งตัวนำ เซรามิกส์ แก้ว ฟัน กระดูก ผ้า ฯลฯ
ตัวอย่างสเปกตรัมของทอง (Au) จากการวัดโดยเทคนิค XPS
ตัวอย่างการวิเคราะห์และแยกแยะคาร์บอน (C) ที่เป็นองค์ประกอบของฟิล์มบาง Copper Phtalocyanine (CuPc) บนทองแดง (Cu) ด้วยเทคนิค XPS