สถานะการให้บริการเครื่องมือวิทยาศาสตร์
เครื่องมือห้องปฏิบัติการที่ให้บริการ
Laboratory Instruments · สถานะความพร้อมให้บริการเครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ 16 รายการ และเครื่องมือเตรียมตัวอย่าง 32 รายการ สำหรับนักวิจัย
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบพร้อมรายละเอียด
คลิกการ์ดเพื่อดูยี่ห้อ รุ่น สถานที่ตั้ง
รายการเครื่องมือและสถานะการให้บริการ
ข้อมูล ณ วันที่ 31 ต.ค. 2567 · คลิกรายการที่มีรูป
กลุ่มเครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
16 รายการ · พร้อมให้บริการ 11 · งดชั่วคราว 5
เคมีและชีวภาพ (วิเคราะห์ธาตุ/สารประกอบ/มวลโมเลกุล)
12 รายการ · งดชั่วคราว 5- FTIR Micro-Spectrometerพร้อมให้บริการ
- Gas Chromatography – Mass Spectrometry (GC-MS/MS)งดบริการชั่วคราว
- Gel Permeation Chromatography (GPC)งดบริการชั่วคราว
- Ultra High Performance Liquid Chromatography (UHPLC)งดบริการชั่วคราว
- High-Resolution Mass Spectrometry (LC-HRMS)งดบริการชั่วคราว
กายภาพ (งานจุลทรรศน์)
4 รายการ- Atomic Force Microscope (AFM)พร้อมให้บริการ
- Scanning electron microscope (SEM)พร้อมให้บริการ
- Transmission electron microscope (TEM)พร้อมให้บริการ
- X-ray Photoelectron spectroscopy (XPS)พร้อมให้บริการ
กลุ่มเครื่องมือเตรียมตัวอย่าง
32 รายการ · พร้อมให้บริการ 31 · งดชั่วคราว 1
ตัดชิ้นงานตัวอย่าง
3 รายการ · งดชั่วคราว 1- เครื่องตัดตัวอย่างที่อุณหภูมิต่ำCryotomeพร้อมให้บริการ
- เครื่องตัดตัวอย่างMicrotomeพร้อมให้บริการ
- เครื่องตัดตัวอย่างบางพิเศษUltramicrotomeงดบริการชั่วคราว
ขัด-กัดผิวตัวอย่าง, อัดตัวอย่าง
2 รายการ- เครื่องขัดLapping/Grindingพร้อมให้บริการ
- เครื่องอัดตัวอย่าง ชนิด pelletHydraulic pressพร้อมให้บริการ
บด/ย่อย, ปั่นเหวี่ยงตัวอย่าง
4 รายการ- เครื่องบดสารMini millพร้อมให้บริการ
- เครื่องปั่นเหวี่ยงสารตกตะกอน แบบควบคุมอุณหภูมิCentrifugeพร้อมให้บริการ
- เครื่องปั่นเหวี่ยงสารตกตะกอนความเร็วรอบต่ำLow speed centrifugeพร้อมให้บริการ
- เครื่องเขย่าควบคุมอุณหภูมิIncubator shakerพร้อมให้บริการ
เคลือบและฉาบผิวตัวอย่าง
4 รายการ- เครื่องสปัตเตอร์ริ่งSputteringพร้อมให้บริการ
- เครื่องชุบโลหะด้วยไฟฟ้าElectroplating Machineพร้อมให้บริการ
- ฉาบทอง ฉาบคาร์บอนGold/Carbon Coatingพร้อมให้บริการ
- เครื่องหมุนเคลือบSpinnerพร้อมให้บริการ
เตรียมตัวอย่างด้วยความร้อน, เย็น
9 รายการ- ตู้อบความร้อนแห้งHot air ovenพร้อมให้บริการ
- เตาอบ 300 องศาเซลเซียสOven 300 °Cพร้อมให้บริการ
- เตาเผา 1,100 องศาเซลเซียสElectric furnace 1,100 °Cพร้อมให้บริการ
- เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายHot plate and stirrerพร้อมให้บริการ
- เครื่องระเหยโลหะในสุญญากาศEvaporationพร้อมให้บริการ
- เครื่องให้ความร้อนแบบแห้ง ชนิดหลุมHeat blockพร้อมให้บริการ
- เครื่องทำให้เจลแห้งGel Drying Systemพร้อมให้บริการ
- เครื่องทำแห้งด้วยความเย็นFreeze dryerพร้อมให้บริการ
- ตู้แช่แข็งอุณหภูมิต่ำDeep freezer -80 °Cพร้อมให้บริการ
เครื่องมือบ่มเพาะเชื้อ, ปลอดเชื้อ
3 รายการ- ตู้บ่มเพาะเชื้อIncubatorพร้อมให้บริการ
- ตู้ปลอดเชื้อ ไบโอฮาซาด คลาส 2Biological safety cabinet class II Type A2พร้อมให้บริการ
- เครื่องนึ่งฆ่าเชื้อด้วยไอน้ำแรงดันสูงAutoclaveพร้อมให้บริการ
เครื่องมือวัดคุณสมบัติทั่วไป
1 รายการ- เครื่องวัดความเป็นกรด-ด่าง ค่าการนำไฟฟ้า
และค่าปริมาณของแข็งที่ละลายน้ำได้pH, Conductivity, Total Dissolved Solids (TDS) พร้อมให้บริการ
เครื่องมือวิทยาศาสตร์ทั่วไป, อื่น ๆ
6 รายการ- กล้องจุลทรรศน์ชนิด 2 ตาLight microscopeพร้อมให้บริการ
- กล้องจุลทรรศน์ชนิด 3 ตาTransmitted-light microscopeพร้อมให้บริการ
- เครื่องชั่งน้ำหนัก 2 ตำแหน่งพร้อมให้บริการ
- เครื่องชั่งน้ำหนัก 4 ตำแหน่งพร้อมให้บริการ
- เครื่องฉายแสงUV mark alignerพร้อมให้บริการ
- เครื่องพลาสมาPlasma cleanerพร้อมให้บริการ
ข้อมูลที่เกี่ยวข้อง
สอบถามการใช้บริการเครื่องมือ
ส่วนบริการอุตสาหกรรมและสังคม ฝ่ายยุทธศาสตร์องค์กร สถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน) เลขที่ 111 อาคารสิรินธรวิชโชทัย ถ.มหาวิทยาลัย ต.สุรนารี อ.เมือง จ.นครราชสีมา 30000

Dispersive Raman Microscope
เครื่องดิสเปอร์ซีฟ รามาน ไมโครสโคป
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Bruker รุ่น Senterra II
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ FTIR & Raman Micro-Spectroscopy (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
- สำหรับศึกษาโครงสร้างโมเลกุลของสาร วิเคราะห์หมู่ฟังก์ชัน และการกระจายตัวของหมู่ฟังก์ชันในตัวอย่าง ด้วยการวัดค่าพลังงานที่กระเจิงออกอันเกิดจากการสั่นของโมเลกุล
- ความยาวคลื่นเลเซอร์ 532 และ 785 nm
- สามารถตรวจสอบตัวอย่างได้ทั้งชนิดของแข็ง ของเหลว และผง
- Raman Microscope สามารถวัดตัวอย่างที่มีขนาดเล็กในระดับไมโครเมตรได้
- เป็นเทคนิคที่ไม่ต้องเตรียมตัวอย่างและไม่ทำลายตัวอย่าง (nondestructive) คือไม่มีการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของตัวอย่างหลังการวัด
- สามารถตรวจวัดในโหมดติดตามการเปลี่ยนแปลงตามเวลาทดสอบได้แบบต่อเนื่อง (Real time On-line) จึงประยุกต์ใช้เพื่อการศึกษาลักษณะการเกิดปฏิกิริยาทางเคมีต่าง ๆ ได้
- สามารถตรวจวิเคราะห์หาองค์ประกอบของสาร โดยวัดเปรียบเทียบรามานสเปกตรัมของวัสดุหรือสารที่กำลังตรวจสอบเทียบกับสเปกตรัมของสารมาตรฐานที่บันทึกไว้หรือที่มีอยู่แล้วใน Library ของฐานข้อมูล
- เป็นเทคนิคที่ใช้ทดสอบตัวอย่างเพื่อการควบคุมคุณภาพได้ทั้งในห้องปฏิบัติการหรือในกระบวนการผลิต

FT-Raman Spectrometer
เครื่องฟูเรียร์ทรานส์ฟอร์ม รามาน สเปกโตรมิเตอร์
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Bruker รุ่น MultiRAM
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ FTIR & Raman Micro-Spectroscopy (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
- สำหรับศึกษาโครงสร้างโมเลกุลของสาร วิเคราะห์หมู่ฟังก์ชัน และการกระจายตัวของหมู่ฟังก์ชันในตัวอย่าง ด้วยการวัดค่าพลังงานที่กระเจิงออกอันเกิดจากการสั่นของโมเลกุล
- ความยาวคลื่นเลเซอร์ 1064 nm
- สามารถตรวจสอบตัวอย่างได้ทั้งชนิดของแข็ง ของเหลว และผง
- เป็นเทคนิคที่ไม่ต้องเตรียมตัวอย่างและไม่ทำลายตัวอย่าง (nondestructive) คือไม่มีการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของตัวอย่างหลังการวัด
- สามารถตรวจวัดในโหมดติดตามการเปลี่ยนแปลงตามเวลาทดสอบได้แบบต่อเนื่อง (Real time On-line) จึงประยุกต์ใช้เพื่อการศึกษาลักษณะการเกิดปฏิกิริยาทางเคมีต่าง ๆ ได้
- สามารถตรวจวิเคราะห์หาองค์ประกอบของสาร โดยวัดเปรียบเทียบรามานสเปกตรัมของวัสดุหรือสารที่กำลังตรวจสอบเทียบกับสเปกตรัมของสารมาตรฐานที่บันทึกไว้หรือที่มีอยู่แล้วใน Library ของฐานข้อมูล
- เป็นเทคนิคที่ใช้ทดสอบตัวอย่างเพื่อการควบคุมคุณภาพได้ทั้งในห้องปฏิบัติการหรือในกระบวนการผลิต


SENTERRA II with FT-RAMAN module
เครื่องรามานไมโครสโคป พร้อมโมดูล FT-Raman
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Bruker รุ่น MultiRAM และ SENTERRA II
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ FTIR & Raman Micro-Spectroscopy (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
- FT-RAMAN เชื่อมต่อกับเครื่อง Raman Microscope (Senterra II) ทำให้ใช้ FT-RAMAN Microscope ที่เลเซอร์ความยาวคลื่น 1064 nm ได้ จึงประยุกต์ใช้งานได้หลากหลายมากยิ่งขึ้น
- สามารถตรวจสอบตัวอย่างได้ทั้งชนิดของแข็ง ของเหลว และผง
- Raman Microscope สามารถวัดตัวอย่างที่มีขนาดเล็กในระดับไมโครเมตรได้
- เป็นเทคนิคที่ไม่ต้องเตรียมตัวอย่างและไม่ทำลายตัวอย่าง (nondestructive) คือไม่มีการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของตัวอย่างหลังการวัด
- สามารถตรวจวัดในโหมดติดตามการเปลี่ยนแปลงตามเวลาทดสอบได้แบบต่อเนื่อง (Real time On-line) จึงประยุกต์ใช้เพื่อการศึกษาลักษณะการเกิดปฏิกิริยาทางเคมีต่าง ๆ ได้
- สามารถตรวจวิเคราะห์หาองค์ประกอบของสาร โดยวัดเปรียบเทียบรามานสเปกตรัมของวัสดุหรือสารที่กำลังตรวจสอบเทียบกับสเปกตรัมของสารมาตรฐานที่บันทึกไว้หรือที่มีอยู่แล้วใน Library ของฐานข้อมูล
- เป็นเทคนิคที่ใช้ทดสอบตัวอย่างเพื่อการควบคุมคุณภาพได้ทั้งในห้องปฏิบัติการหรือในกระบวนการผลิต

Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (LA-ICP-MS)
เครื่องแอลเอไอซีพีแมสสเปกโตรมิเตอร์
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Spectrometer ยี่ห้อ ThermoScientific รุ่น iCapQ, Laser ablation ยี่ห้อ ESI รุ่น NWR-213
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ LA-ICP-MS & UV-VIS (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
ICP-MS เป็นเครื่องมือที่ใช้ในการวิเคราะห์ธาตุ (elemental analysis) โดยอาศัยหลักการของอะตอมมิกสเปกโทรสโกปี (Atomic spectroscopy) เทคนิคนี้ใช้เลเซอร์ยิงไปที่ตัวอย่างให้เกิดการระเหิด (Laser Ablation) แล้วส่งต่อไปยังเครื่อง ICP ซึ่งใช้พลังงานจากพลาสมาทำให้อิเล็กตรอนวงนอกของอะตอมหลุดออกเกิดเป็นไอออนบวก จากนั้นไอออนบวกจะถูกแยกและวิเคราะห์ด้วยเทคนิคแมสสเปกโทรสโกปี (Mass spectroscopy) ซึ่งปริมาณไอออนบวกที่เกิดขึ้นจะสัมพันธ์โดยตรงกับความเข้มข้นของสารตัวอย่าง
คุณลักษณะเฉพาะ
- วิเคราะห์หาชนิดของธาตุที่มีความเข้มข้นต่ำได้ถึงระดับส่วนในพันล้านส่วน (parts per billion, ppb)
- วิเคราะห์ตัวอย่างที่มีสถานะเป็นของแข็งและของเหลวได้
- มีเครื่องดูดและฉีดสารตัวอย่างอัตโนมัติ
- วิเคราะห์หาชนิดของธาตุได้พร้อมกันถึง 70 ธาตุ
- วิเคราะห์ธาตุได้ทั้งเชิงคุณภาพและเชิงปริมาณ
- เครื่อง LA มีแหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์ Neodymium Yttrium Aluminum Garnet (Nd:YAG) ที่ความยาวคลื่น 213 นาโนเมตร ใช้กับตัวอย่างของแข็งได้โดยไม่ต้องย่อยตัวอย่างด้วยกรด
- ทำแผนภาพการกระจายตัวของธาตุบนผิวตัวอย่างได้ (mapping) ด้วยความละเอียดแต่ละจุด (spatial resolution) ถึง 2 ไมครอน

UV-Vis spectrophotometer
เครื่องวัดค่าการดูดกลืนแสง
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- PerkinElmer รุ่น LAMBDA 950
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ LA-ICP-MS & UV-VIS (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
UV-Vis-NIR เป็นเครื่องมือที่ใช้ตรวจวัดการดูดกลืนแสง (Absorbance) การส่องผ่านแสง (Transmittance) และการสะท้อนแสง (Reflectance) ซึ่งปริมาณการดูดกลืนจะสัมพันธ์โดยตรงกับความเข้มข้นของสารตัวอย่าง จึงวิเคราะห์ได้ทั้งเชิงคุณภาพและเชิงปริมาณ และประยุกต์ใช้วิเคราะห์ทดสอบได้หลากหลาย ทั้งสารอินทรีย์ สารอนินทรีย์ และสารประกอบเชิงซ้อนที่ดูดกลืนรังสีในช่วงดังกล่าว
- ระบบการวัดแบบลำแสงคู่ (Double beam Spectrophotometer) ทดสอบค่าการส่องผ่าน (Transmittance) และการดูดกลืน (Absorbance) ในช่วงความยาวคลื่น 175 – 3300 นาโนเมตร
- ชุด Integrating Sphere ขนาด 100 มิลลิเมตร สำหรับทดสอบค่า Transmittance และ Reflectance ของพื้นผิวตัวอย่างในช่วงความยาวคลื่น 200 – 2500 นาโนเมตร
- โปรแกรมคำนวณค่าสี (Color software) จากสเปกตรัมของสารตัวอย่าง แสดงค่าตามมาตรฐาน Tristimulus values (XYZ) และ CIE L*a*b*
- โปรแกรมวิเคราะห์ค่า light transmittance, solar direct transmittance และ ultraviolet transmittance สำหรับกระจกอาคารตามมาตรฐาน ISO 9050
- โปรแกรมทดสอบสมบัติด้านความใสและความขุ่นของพลาสติก (Haze) ตามมาตรฐาน ASTM D-1003

X-ray Diffractometer (XRD)
เครื่องวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Rigaku รุ่น SmartLab
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ XRD & XRF (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
เทคนิคเอกซเรย์ดิฟแฟรกชัน (XRD) ใช้รังสีเอกซ์วิเคราะห์และระบุชนิดสารประกอบ และโครงสร้างผลึกของสารประกอบในสารตัวอย่าง ทั้งเชิงคุณภาพ (Qualitative) และเชิงปริมาณ (Quantitative)
หลักการคือยิงรังสีเอกซ์ไปกระทบชิ้นงาน ทำให้เกิดการเลี้ยวเบนและสะท้อนออกมาที่มุมต่าง ๆ โดยมีหัววัดสัญญาณ (Detector) รับข้อมูล สารแต่ละชนิดจะเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ในมุมที่แตกต่างกันตามองค์ประกอบ รูปร่าง และลักษณะผลึก จึงบ่งชี้ชนิดสารประกอบและศึกษาโครงสร้างผลึกได้ รวมถึงปริมาณความเป็นผลึก ขนาดผลึก ความสมบูรณ์ของผลึก และความเค้นของสารประกอบ เมื่อใช้ร่วมกับอุปกรณ์ให้ความเย็น-ร้อน ยังศึกษาการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างผลึกขณะสภาวะทดสอบเปลี่ยนไปได้
คุณลักษณะของเครื่อง
- Max Power
- 9 kW
- X-Ray generator
- Cu anode, Kα1 1.544 Å
- Detector
- 0D, 1D, 2D
การประยุกต์ใช้งาน
- Small angle X-ray scattering (SAXS) สำหรับวิเคราะห์ Particle/Pore size distribution ของวัสดุระดับนาโนเมตร
- วิเคราะห์เชิงคุณภาพ (Qualitative analysis) และเชิงปริมาณ (Quantitative analysis)
- วิเคราะห์ตัวอย่างแบบฟิล์มบาง (X-ray reflectivity) หาค่า thickness, density, surface roughness และ interface roughness ด้วยโปรแกรมคำนวณ
- วิเคราะห์แบบ Rietveld refinement
- เปรียบเทียบข้อมูลการวิเคราะห์เชิงคุณภาพกับฐานข้อมูลอ้างอิง
- วิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงของสาร ตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึง 1500 องศาเซลเซียส

Wavelength dispersive X-ray Fluorescence (WD-XRF)
เครื่องเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์ แบบกระจายความยาวคลื่น
- ประเภทเครื่องมือ
- เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- ยี่ห้อ / รุ่น
- Rigaku รุ่น ZSX Primus II
- สถานที่ตั้ง
- ห้องวิเคราะห์ XRD & XRF (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิรินธรวิชโชทัย)
ข้อมูลทางเทคนิค
WD-XRF เป็นเครื่องมือวิเคราะห์ชนิดและปริมาณธาตุในสารตัวอย่างด้วยหลักการเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์แบบ Wavelength Dispersive วิเคราะห์ธาตุได้ตั้งแต่เบริลเลียม (Be) ถึงยูเรเนียม (U) ตั้งแต่ระดับเปอร์เซ็นต์จนถึงระดับส่วนในล้านส่วน (ppm) และวิเคราะห์ได้ทั้งตัวอย่างของแข็งและของเหลว
ลำรังสีเอกซ์จาก X-ray generator ถูกส่งไปยังสารตัวอย่าง เกิดอันตรกิริยากับธาตุต่าง ๆ แล้วเกิดเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนซ์ ผ่านคอลลิเมเตอร์ (Collimator) ให้เป็นลำขนาน ไปกระทบ Analyzing crystal ในสเปกโทรมิเตอร์สุญญากาศ ซึ่งแยกรังสีเอกซ์ตามความยาวคลื่น ก่อนส่งไปยังดีเทคเตอร์ (Detectors) เพื่อแปลงเป็นสเปกตรัม
คุณลักษณะของเครื่อง
- X-ray Generator Unit
- Tube above 4 kW, 60 kV, 150 mA · Rh target anode · End window 30 micron
- Detectors
- Scintillation counter (SC) สำหรับธาตุหนัก, Flow proportional counter (F-PC) สำหรับธาตุเบา
- Analyzing Crystal
- LiF(200), LiF(220), GeH, PETH, RX25, RX40, RX45, RX75
ห้องตัวอย่าง (Sample Chamber)
- เปลี่ยนตัวอย่างอัตโนมัติ (Auto Sample Changer) วางถ้วยตัวอย่างได้ 48 ถ้วย
- รองรับตัวอย่างเส้นผ่านศูนย์กลางไม่เกิน 50 มิลลิเมตร และหนาไม่เกิน 30 มิลลิเมตร
- Sample mask 3 ขนาด (เส้นผ่านศูนย์กลาง 10, 20 และ 30 มิลลิเมตร) เลือกตามขนาดตัวอย่าง
- ทำงานได้ทั้งระบบสุญญากาศและก๊าซฮีเลียม
- หมุนตัวอย่างขณะวัดได้
- วัดการกระจายตัวของธาตุบนพื้นผิว (Micro Mapping) ที่ความละเอียด 50 ไมโครเมตร




