banner DXL2020edit 

LATEST NEWS

          เซ็นเซอร์ (sensor) เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดปริมาณการเปลี่ยนแปลงทางฟิสิกส์และมีการประมวลผลเพื่อส่งสัญญาณทางไฟฟ้าออกมา โดยมีความสัมพันธ์กันกับปริมาณหรือความเข้มข้นของสิ่งที่ต้องการตรวจวัด โดยมีหลักการทำงานและรูปแบบที่แตกต่างกันออกไปโดยขึ้นอยู่กับชนิดของเซ็นเซอร์ ในปัจจุบันเซ็นเซอร์ได้เข้ามามีบทบาทสำคัญและถูกประยุกต์ใช้งานกันอย่างหลากหลาย ทั้งทางด้านการจัดการระบบในอุตสาหกรรม การทำฟาร์มอัจฉริยะ (Smart Farm) การบริหารจัดการน้ำ (Water Resources Management) การควบคุมคุณภาพของพืชในทางเกษตรกรรม (Mahbub, M. 2020) การควบคุมสภาวะและตรวจสอบคุณภาพอาหาร (Li, Y., et al. 2019) การบริหารจัดการและการพัฒนาอุปกรณ์ตรวจวัดทางการแพทย์ รวมถึงการควบคุมและตรวจหาสิ่งแปลกปลอมในสิ่งแวดล้อม (Ray, P. P., et al. 2020)

 

SENSOR1

 

<...

Deep X-Ray Lithography

DXL1



          Deep X-Ray Lithography หรือเรียกสั้น ๆ ว่า DXL เป็นหนึ่งในระบบลำเลียงแสงของสถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน) ที่นำประโยชน์จากแสงซินโครตรอนในย่านรังสีเอกซ์ (2keV – 10 keV) มาประยุกต์ใช้ในการขึ้นรูปโครงสร้างสามมิติบนพอลิเมอร์ไวแสง เนื่องจากรังสีเอกซ์มีความยาวคลื่นที่สั้นทำให้มีพลังงานสูง ทำให้สามารถสร้างโครงสร้างที่มีพื้นผิวด้านข้างที่เรียบ มีสัดส่วนสูง(high aspect ratio) และยังสามารถสร้างได้หลากหลายรูปแบบ จึงมักนิยมใช้ในการสร้างอุปกรณ์และชิ้นส่วนขนาดเล็ก (micro parts) ชนิดต่างๆเช่น การสร้างแม่พิมพ์จุลภาค การจำลองรอยแตกร้าว การสร้างตัวขับเร้า การสร้างเซ็นเซอร์ เป็นต้น

DXL

 

...

ระบบลำเลียงแสงที่ 6 Deep X-ray Lithography (DXL)

 

          ระบบลำเลียงแสงที่ 6 Deep X-Ray Lithography หรือ DXL เป็นหนึ่งในระบบลำเลียงแสงของสถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน โดยใช้ประโยชน์จากแสงซินโครตรอนในย่านรังสีเอกซ์ สำหรับสร้างโครงสร้าง 3 มิติ ในระดับไมโครเมตร จำพวกอุปกรณ์และชิ้นส่วนขนาดเล็ก (micro parts) ชนิดต่างๆ นอกจากนี้ยังเป็นห้องปฏิบัติการระดับอาเซียน ที่ให้บริการแสงซินโครตรอนสำหรับงานวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ใหม่ๆ ที่ต้องการเทคโนโลยีขั้นสูงในงานศึกษาและปรับปรุงคุณภาพสินค้า

 

IMG 2346

 

          ซึ่งระบบลำเลียงที่ 6 ประกอบไปด้วยพื้นที่ 3 ส่วนสำคัญ (รูปที่1) คือ front end, X-ray screening and transportation และ end station หรือสถานีทดลอง แสงซินโครตรอนที่เกิดจากการเลี้ยวโค้งของอิเล็กตรอนภายใต้สนามแม่เหล็กที่ bending magnet 6 (BM6) จะถูกลำเลียงผ่าน photon mask 1 ซึ่งทำหน้าที่กำหนดขนาดความกว้างของแสงซินโครตรอนที่ออกมาจาก BM6 ต่อจากนั้น แสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่าน photon beam position monitoring (PBPM) และ heat absorber shutter (ABS) ซึ่งทำหน้าที่ปิดกั้นแสงซินโครตรอนไม่ให้ผ่านเข้าไปในระบบลำเลียงแสง ระบบลำเลียงแสงส่วนนี้ถูกแยกออกจากระบบลำเลียงแสงส่วนถัดไปด้วย pneumatic valve 1 (PV1) เมื่อเปิด PV1 แสงซินโครตรอนจะตกกระทบกับกระจก collimating mirror (CM) ซึ่งทำหน้าที่รวมลำแสงซินโครตรอนให้ขนานกัน ผ่าน PV2 ซึ่งทำหน้าที่แยกส่วนของกระจกกับระบบถัดไป เมื่อ PV2 เปิด แสงที่ออกจากกระจกจะเข้าสู่ beam shutter (BS) ซึ่งทำหน้าที่กั้นรังสีทุติยภูมิเข้าสู่ระบบลำเลียงแสงบริเวณโถงทดลอง หลังจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่านท่อลำเลียงเข้าสู่บริเวณโถงทดลอง ซึ่งมี PV3 ทำหน้าที่แยกระบบลำเลียงแสงบริเวณ front end ออกจากบริเวณโถงทดลอง ซึ่งเมื่อเปิด PV3 แสงซินโครตรอนจะผ่านเข้าสู่ wire scan และ screen ซึ่งเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการตรวจวัดขนาดของลำแสงที่ออกจากกระจก ต่อจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกคัดกรองด้วย Be window 1 เพื่อคัดกรอกแสงที่มีพลังงานในย่านรังสีเอกซ์ (2-10 keV) ผ่าน PV4 และ PV6 ตามลำดับ หลังจากนั้น รังสีเอกส์จะถูกลำเลียงผ่าน Be window 2 ซึ่งทำหน้าที่คัดกรองรังสีเอกซ์และแยกระบบลำเลียงแสงในส่วนของโถงทดลองออกจากส่วนสถานีวิจัย และผ่าน PV7 เข้าสู่ X-ray scanner สำหรับใช้ในกระบวนการX-ray lithography

 

  BL6a plan 16092019
 bl6a ๑๙๐๗๒๔ 0038  bl6a ๑๙๐๗๒๔ 0049

 

รูปที่ 1  องค์ประกอบของระบบลำเลียงแสงที่ 6 DXL

 

คุณลักษณะของ ระบบลำเลียงแสง 6 : Deep X-ray Lithography (DXL)

 

Electron energy

1.2 GeV

Transmitted band-pass spectrum

2 keV - 10 keV

 Source

1.44 T Bending magnet

Horizontal of beam size

80 mm

Vertical of beam size

(not bending mirror, P=0.0 MPa)

5.3 mm

Vertical of beam size

(bending mirror, P=0.3 MPa)

3.5 mm

Photoresist thickness

5 µm - 1300µm for SU-8
5 µm - 500µm for PMMA

Mask-photoresist rotation

 ±60°

Scanning speed (vertical speed)

2.87 mm/sec

Scanning length

-60 mm to +60 mm

Final graph for website2

CONTACT US

 

Synchrotron Light Research institute.

111 University Avenue,

Muang District,

Nakhon Ratchasima

30000 , THAILAND

En1

Tel.: 66 44 217 040 ext. 1721, 1433,1407
Fax.: 66 44 217 047
Email: dxl_bl@slri.or.th

Postal address : P.O Box 93, Muang, Nakhon Ratchasima 30000, THAILAND

POWERPOINT TEMPLATE 06

Go to top