ระบบลำเลียงแสงที่ 6: Deep X-ray Lithography (DXL) ประกอบไปด้วย ห้องปฏิบัติการต่อไปนี้
- ระบบลำเลียงแสงที่ 6: Deep X-ray Lithography (DXL)
- ห้องปฎิบัติการสะอาด (Clean Room)
- ห้องปฏิบัติการผลิตชิ้นส่วนจุลภาค (Microfabrication Laboratory)
- ห้องปฏิบัติการ Lab on a chip
- ห้องปฏิบัติการอิเล็กทรอนิกส์ (Electronics Laboratory)
เพื่อให้การบริการเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพและความปลอดภัยสูงสุด ทางส่วนงานได้เตรียมข้อมูลการให้บริการและความปลอดภัยในการใช้ห้องปฏิบัติการ สอดคล้องกับระเบียบการให้บริการของสถาบันฯ โดยผู้ใช้บริการสามารถศึกษาและทดลองทำแบบทดสอบเพื่อความเข้าใจก่อนใช้บริการได้ตามรายละเอียดต่อไปนี้
คู่มือและแบบทดสอบประจำห้องปฏิบัติการอาบรังสีเอกซ์ ระบบลำเลียงแสงที่ 6
คู่มือและแบบทดสอบห้องปฎิบัติการห้องสะอาด
คู่มือและแบบทดสอบห้องปฏิบัติการผลิตชิ้นส่วนจุลภาค