ระบบลำเลียงแสงที่ 6 Deep X-ray Lithography (DXL)

          ระบบลำเลียงแสงที่ 6 Deep X-Ray Lithography หรือ DXL เป็นหนึ่งในระบบลำเลียงแสงของสถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน โดยใช้ประโยชน์จากแสงซินโครตรอนในย่านรังสีเอกซ์ สำหรับสร้างโครงสร้าง 3 มิติ ในระดับไมโครเมตร จำพวกอุปกรณ์และชิ้นส่วนขนาดเล็ก (micro parts) ชนิดต่างๆ นอกจากนี้ยังเป็นห้องปฏิบัติการระดับอาเซียน ที่ให้บริการแสงซินโครตรอนสำหรับงานวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ใหม่ๆ ที่ต้องการเทคโนโลยีขั้นสูงในงานศึกษาและปรับปรุงคุณภาพสินค้า

          ซึ่งระบบลำเลียงที่ 6 ประกอบไปด้วยพื้นที่ 3 ส่วนสำคัญ (รูปที่1) คือ front end, X-ray screening and transportation และ end station หรือสถานีทดลอง แสงซินโครตรอนที่เกิดจากการเลี้ยวโค้งของอิเล็กตรอนภายใต้สนามแม่เหล็กที่ bending magnet 6 (BM6) จะถูกลำเลียงผ่าน photon mask 1 ซึ่งทำหน้าที่กำหนดขนาดความกว้างของแสงซินโครตรอนที่ออกมาจาก BM6 ต่อจากนั้น แสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่าน photon beam position monitoring (PBPM) และ heat absorber shutter (ABS) ซึ่งทำหน้าที่ปิดกั้นแสงซินโครตรอนไม่ให้ผ่านเข้าไปในระบบลำเลียงแสง ระบบลำเลียงแสงส่วนนี้ถูกแยกออกจากระบบลำเลียงแสงส่วนถัดไปด้วย pneumatic valve 1 (PV1) เมื่อเปิด PV1 แสงซินโครตรอนจะตกกระทบกับกระจก collimating mirror (CM) ซึ่งทำหน้าที่รวมลำแสงซินโครตรอนให้ขนานกัน ผ่าน PV2 ซึ่งทำหน้าที่แยกส่วนของกระจกกับระบบถัดไป เมื่อ PV2 เปิด แสงที่ออกจากกระจกจะเข้าสู่ beam shutter (BS) ซึ่งทำหน้าที่กั้นรังสีทุติยภูมิเข้าสู่ระบบลำเลียงแสงบริเวณโถงทดลอง หลังจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่านท่อลำเลียงเข้าสู่บริเวณโถงทดลอง ซึ่งมี PV3 ทำหน้าที่แยกระบบลำเลียงแสงบริเวณ front end ออกจากบริเวณโถงทดลอง ซึ่งเมื่อเปิด PV3 แสงซินโครตรอนจะผ่านเข้าสู่ wire scan และ screen ซึ่งเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการตรวจวัดขนาดของลำแสงที่ออกจากกระจก ต่อจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกคัดกรองด้วย Be window 1 เพื่อคัดกรอกแสงที่มีพลังงานในย่านรังสีเอกซ์ (2-10 keV) ผ่าน PV4 และ PV6 ตามลำดับ หลังจากนั้น รังสีเอกส์จะถูกลำเลียงผ่าน Be window 2 ซึ่งทำหน้าที่คัดกรองรังสีเอกซ์และแยกระบบลำเลียงแสงในส่วนของโถงทดลองออกจากส่วนสถานีวิจัย และผ่าน PV7 เข้าสู่ X-ray scanner สำหรับใช้ในกระบวนการX-ray lithography

รูปที่ 1  องค์ประกอบของระบบลำเลียงแสงที่ 6 DXL

คุณลักษณะของ ระบบลำเลียงแสง 6 : Deep X-ray Lithography (DXL)