Microchannel āļāļ·āļ āļāđāļāļāļāļēāļāđāļŦāļĨāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļāļāđāļŦāļĨāļ§āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļēāļĢāļĨāļ°āļĨāļēāļĒāļāļĢāļ°āđāļ āļāļāđāļēāļāđ āđāļāļĢāļ°āļāļąāļāđāļĄāđāļāļĢāļĨāļīāļāļĢ āļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļīāļĒāļĄāđāļāđāđāļāļāļāļīāļ Soft lithography
Microelectrode āļŦāļĢāļ·āļāļāļąāđāļ§āđāļāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļļāļĨāļ āļēāļ āļāļąāļāļāļļāļāļąāļāļāļīāļĒāļĄāļāļģāļĄāļēāļāļĢāļ°āļĒāļļāļāļāđāđāļāđāđāļāļāļēāļāļāđāļēāļ sensor āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļ§āļąāļ āļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ āđāļāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļāļĒāđ āļĒāļēāļāļĒāļāļāđ āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āļāļēāļĢāđāļāļĐāļāļĢ āļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļīāļĒāļĄāđāļāđāđāļāļāļāļīāļāļāļēāļĢāļŠāļĢāđāļēāļāļāđāļ§āļĒāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ #Sputtering āđāļĨāļ° #Evaporation āđāļāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļāļāļ Substrate āđāļāđāļ āļāļĢāļ°āļāļāļŠāđāļĨāļāđ āđāļāđāļāļāđāļ
āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĒāļļāļāļāđāđāļāđāđāļāļāļēāļāļāđāļēāļ #Microfluidics āđāļāđāļ Biosensor Micromixer āđāļāđāļāļāđāļ āđāļāļŠāđāļ§āļāļāļāļ BL6 āđāļĢāļēāļĄāļĩāļāļĢāļīāļāļēāļĢāđāļāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāļĢāļđāđ āļāļąāļāļāļēāđāļĨāļ°āļŠāļĢāđāļēāļ Microfluidics chip āļāļēāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļāļāļāļđāđāđāļāđ āļāļąāđāļāđāļāđāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāđāļāļāļāļāļķāļāđāļāđāļāļīāđāļāļāļēāļāļāļĢāđāļāļĄāļāļģāđāļāđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļāļāđāļēāļāđāļāđāļāđāļ
     āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ (sensor) āđāļāđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĢāļ§āļāļ§āļąāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļēāļāļāļīāļŠāļīāļāļŠāđāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāđāļāļ·āđāļāļŠāđāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļāļēāļāđāļāļāđāļēāļāļāļāļĄāļē āđāļāļĒāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļąāļĄāļāļąāļāļāđāļāļąāļāļāļąāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļŠāļīāđāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļ§āļąāļ āđāļāļĒāļĄāļĩāļŦāļĨāļąāļāļ...
     Deep X-Ray Lithography āļŦāļĢāļ·āļāđāļĢāļĩāļĒāļāļŠāļąāđāļ āđ āļ§āđāļē DXL āđāļāđāļāļŦāļāļķāđāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļĨāļģāđāļĨāļĩāļĒāļāđāļŠāļāļāļāļāļŠāļāļēāļāļąāļāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļŠāļāļāļīāļāđāļāļĢāļāļĢāļāļ (āļāļāļāđāļāļēāļĢāļĄāļŦāļēāļāļ) āļāļĩāđāļāļģāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāļēāļāđāļŠāļāļāļīāļāđāļāļĢāļāļĢāļāļāđāļāļĒāđāļēāļāļĢāļąāļāļŠāļĩāđāļāļāļāđ (2keV â 10 keV) āļĄāļēāļāļĢāļ°āļĒāļļāļāļāđāđ...
      QCM (Quartz crystal Microbalance) āļŦāļĢāļ·āļāđāļĢāļĩāļĒāļāļāļĒāđāļēāļāđāļāđāļēāđāļāļāđāļēāļĒāļ§āđāļē âāļāļēāļāļąāđāļāļ§āļąāļāļĄāļ§āļĨāļāļāļēāļāđāļĨāđāļâ āđāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļāļĢāļāļĢāļąāļĄāļāļķāļāļāļēāđāļāļāļĢāļąāļĄ āļāļķāđāļāđāļāđāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāļēāļāđāļĢāđāļāļ§āļāļāļāđ (Quartz crystal) āļāļĩāđāļāļąāļāđāļŦāđāđāļāđāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠ...
   āđāļāļāļąāļāļāļļāļāļąāļāļĢāļ°āļāļāļĨāļģāđāļĨāļĩāļĒāļāđāļŠāļāļāļĩāđ 6 Deep X-ray Lithography āđāļāļĒāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢ Microsystem āļāļķāđāļāđāļāđāļāļŦāļāļķāđāļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļāļāļŠāļāļēāļāļąāļāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļŠāļāļāļīāļāđāļāļĢāļāļĢāļāļ (āļāļāļāđāļāļēāļĢāļĄāļŦāļēāļāļ) āđāļāđāļāļąāļāļāļēāđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļĒāļļāļāļāđāđāļāđāđāļāļāļāļīāļāļāļēāļĢāļāļļāļāđāļĨāļŦāļ°āļāđāļ§āļĒāđ...
     āļŠāļāļēāļāļąāļāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļŠāļāļāļīāļāđāļāļĢāļāļĢāļāļ (āļāļāļāđāļāļēāļĢāļĄāļŦāļēāļāļ) āļŠāđāļāļĄāļāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāđāļŠāļāļāļāļĨāļāļąāļāļĐāļĢāđāļāļĢāļĨāļĨāđāļāļĢāļ°āļĢāļēāļāļāļēāļ āđāļāļ·āđāļāļāđāļāđāļāļāļēāļŠāļāļąāļāđāļāđāļāļĄāļŦāļēāļĄāļāļāļĨāļŠāļĄāđāļāđāļāļāļĢāļ°āļāļāļīāļĐāļāļēāļāļīāļĢāļēāļāđāļāđāļē āļāļĢāļĄāļŠāļĄāđāļāđāļāļāļĢāļ°āđāļāļāļĢāļąāļāļāļĢāļēāļāļŠāļļāļāļēāļŊ āļŠāļĒāļēāļĄāļāļĢāļĄāļĢāļēāļāļāļļāļĄāļēāļĢāļĩ āļāļĢāļāđāļāļĢāļīāļāļāļĢāļ°āļāļ...
    āļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļāļāļīāļ (Lab-on-a-chip) āļāļ·āļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāļāļĩāđāļāļĒāļđāđāļāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāđāļāļŠāļ āļēāļ§āļ°āļāļĩāđāļāļđāļāļāļ§āļāļāļļāļĄ āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāļĩāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒ āļāļēāļĢāļāļāļĨāļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļēāļāļ§āļīāļāļĒāļēāļĻāļēāļŠāļāļĢāđāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļāđāļāļāļāļīāļ āđāļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļ...
   āđāļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļĩāļĒāļĄāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāļīāđāļāļāļēāļāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļļāļĨāļ āļēāļ āļĢāļ§āļĄāđāļāļāļķāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļĨāļ°āđāļāļĨāļ·āļāļāļāļąāđāļāđāļĨāļŦāļ°āļāđāļ§āļĒāđāļāļāļāļīāļāļāļēāļĢāļāļļāļāđāļĨāļŦāļ°āļāđāļ§āļĒāđāļāļāđāļē āļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāđāļāļĄāđāļāļāļēāļĢāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļēāļāđāļ...
 āļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļāđāļāđāļāļŦāļāļķāđāļāđāļāļāļļāļāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāļāļđāļāļāļģāļĄāļēāđāļāđāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ āļāļąāđāļāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļ§āļāļāļĢāđāļāļāđāļē āļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļāđāļŠāļāđāļāļāđāļāļĒāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļąāđāļāđāļĨāļŦāļ°āđāļāļ·āđāļāļĨāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāļāļāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđāļāļāļāļĢāļ°āļāļ āļŦāļĢāļ·āļ...
      āļāļēāļĢāļāđāļēāļ§āļĒāđāļēāļāđāļāđāļēāļŠāļđāđāļĻāļāļ§āļĢāļĢāļĐāļāļĩāđ 21 āļāļāļāļĄāļāļļāļĐāļĒāļāļēāļāļī āđāļāđāļāđāļāļāļģāđāļāļīāļāļŦāļĨāļąāļāļāļēāļĢ āļāļĪāļĐāļāļĩ āđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļ§āļēāļĄāļĢāļđāđāļĄāļēāļāļĄāļēāļĒāļāļķāđāļāđāļāđāļāļģāļĄāļēāļŠāļđāđāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩāđāļŦāđāļāļąāļāļĄāļāļļāļĐāļĒāļāļēāļāļī āļŦāļāļķāđāļāđāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩāļāļĩāđāđāļāđāđāļāđāļēāļĄāļēāđāļāđāļāļŠāđāļ§āļāļŦāļāļķāđāļāļāļāļāļāļĩāļ§āļīāļāļāļāļāļĄ...