Scanning Electron Microscope(SEM)

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด

ประเภทเครื่องมือ : เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ

ยี่ห้อ/รุ่น : FEI  รุ่น QUANTA 450

ข้อมูลทางเทคนิค :

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่มีกำลังขยาย 6 -1,000,000 เท่า ทำให้สามารถศึกษาโครงสร้างขนาดเล็กระดับนาโนเมตรถึงไมโครเมตร สามารถถ่ายภาพตัวอย่างได้หลากหลายโดยไม่มีความจำเป็นต้องเคลือบผิวด้วยสารตัวนำไฟฟ้าก่อนการถ่ายภาพ โดยเลือกระบบสุญญากาศในห้องใส่ตัวอย่างที่เหมาะสมสำหรับตัวอย่างแต่ละประเภท ได้แก่

1. 1. ระบบสุญญากาศระดับสูง(High Vacuum) สำหรับตัวอย่างประเภทเป็นของแข็ง แห้ง และนำไฟฟ้า เช่น โลหะ เป็นต้น
   2. ระบบสุญญากาศระดับต่ำ(Low Vacuum) สำหรับตัวอย่างประเภทเป็นของแข็ง แห้ง และไม่นำไฟฟ้าเช่น พอลิเมอร์ ยาง เป็นต้น
   3. ระบบสุญญากาศระดับสภาวะแวดล้อม(Environmental SEM) ที่สามารถทำงานที่ความดัน 10 ถึง 2600 Pa เหมาะกับตัวอย่างที่มีความชื้น มีน้ำเป็นองค์ประกอบ สามารถปรับระดับความชื้นในห้องใส่ตัวอย่างได้ตามความต้องการและสามารถวัดตัวอย่างที่มีอุณหภูมิต่ำได้ เช่น ไอครีม ตัวอย่างแช่แข็ง ตัวอย่างทางชีวภาพ ทางการแพทย์ เป็นต้น

โหมดการวัดเพิ่มเติม

1. 1. การวิเคราะห์ธาตุเชิงพลังงาน (Energy Dispersive X-Ray Spectrometer: EDS) เป็นการวิเคราะห์หาธาตุในตัวอย่าง ตั้งแต่ธาตุ B โบรอน ถึงU ยูเรเนียม วิเคราะห์ได้ทั้งเชิงคุณภาพ และเชิงปริมาณ และสามารถวิเคราะห์การกระจายตัวของธาตุบนพื้นผิวตัวอย่างที่ศึกษาได้ 
   2. การศึกษาการเปลี่ยนแปลงของตัวอย่าง ขณะปรับเปลี่ยนอุณหภูมิ :มีแท่นวางตัวอย่างชนิดควบคุมอุณหภูมิสูง ตั้งแต่อุณหภูมิห้องถึง 1,400 องศาเซลเซียส และแท่นวางตัวอย่างชนิดควบคุมอุณหภูมิต่ำ ควบคุมได้ในช่วง -20 ถึง 60 องศาเซลเซียส จึงสามารถถ่าย VDO เพื่อติดตามการเปลี่ยนแปลงของตัวอย่างขณะปรับอุณหภูมิที่ต้องการได้
   3. การศึกษาการเปลี่ยนแปลงของตัวอย่าง ขณะปรับแรงดึง : มีชุดแท่นวิเคราะห์ทางกลของตัวอย่างด้วยเทคนิคแรงดึงขนาด 450 นิวตัน รองรับตัวอย่างได้สูงสุดที่ 1x12x65 mm มีระยะ Max Strain Travel 31 mmจึงสามารถถ่าย VDO เพื่อติดตามการเปลี่ยนแปลงตัวอย่างขณะใส่แรงดึงได้
   4. การวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านและส่องกราด (Scanning transmission electron microscopy (STEM))เป็นการวัดตัวอย่างที่เตรียมให้บาง เพื่อให้เห็นโครงสร้างที่ส่องผ่าน เพื่อให้วัดผลได้คล้ายกับ TEM สามารถประยุกต์ใช้งานได้อย่างหลากหลาย เช่นการศึกษาเฟสที่ผสมรูพรุนการกระจายตัวของโละในพอลิเมอร์ตัวอย่างทางชีวภาพ เป็นต้น

ผู้ดูแลเครื่องมือ :

ที่ปรึกษา งานวิเคาะห์/วิจัย :

สถานที่ตั้ง :ห้องวิเคราะห์ AFM&SEM (โซนห้องปฏิบัติการส่วนวิจัยประยุกต์เพื่ออุตสาหกรรม ฝ่ายสถานีวิจัย ชั้น 3 อาคารสิริธรวิชโชทัย)