ห้องปฏิบัติการสะอาด (Clean room)

        ห้อง Clean room หมายถึง ห้องสะอาดที่มีการควบคุมปริมาณอนุภาค ฝุ่นละอองและสิ่งปนเปื้อนต่างๆให้มีไม่เกินระดับที่กำหนดไว้ นอกจากนั้นยังรวมไปถึงการควบคุมปัจจัยเสริมต่างๆ ได้แก่ คุณลักษณะและความเร็วของลม อุณหภูมิ แรงดัน และระดับความชื้นสัมพัทธ์ภายในห้อง ปัจจุบันเทคโนโลยีการผลิตมีการพัฒนาและก้าวหน้าไปมาก มีการนำเทคโนโลยีขั้นสูง (High Technology) มาใช้ในอุตสาหกรรมต่างๆมากขึ้น ซึ่งจำเป็นต้องใช้สภาวะแวดล้อมที่สะอาดในกระบวนการผลิต เพื่อให้ผลิตภัณฑ์ที่ได้มีคุณภาพดี อุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับ Clean room ได้แก่ อุตสาหกรรมยา อุตสาหกรรมด้านเทคโนโลยีชีวภาพ ตลอดจนถึงอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับเครื่องจักรกลที่มีความละเอียดในการทำงานสูง เป็นต้น                                                 

          Clean room หรือ “ห้องสะอาด” ถูกนำมาใช้ครั้งแรกในปี ค.ศ. 1961 โดย Willis Whitfield ห้องสะอาด หมายถึง ห้องที่มีการปิดมิดชิด มีการควบคุมมลสารในอากาศให้น้อยที่สุด เพื่อให้มีความสะอาดเป็นไปตามระดับมาตรฐานความสะอาด และมีการควบคุมสภาวะแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ ความชื้นและความแตกต่างของความดันตามที่ต้องการ                                                               

          โดยทั่วไปมวลสารหรืออนุภาคในอากาศ ประกอบไปด้วยอนุภาคที่มีชีวิต (เชื้อจุลชีพต่างๆ) และอนุภาคที่ไม่มีชีวิต (ผง ฝุ่น) ห้องสะอาดทางชีววิทยา อุตสาหกรรมยาหรือโรงพยาบาล จะเน้นการ  ควบคุมหรือป้องกันพวกเชื้อจุลชีพ ส่วนห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกสที่ต้องการความ  สะอาดมาก จะเน้นการควบคุมทั้งอนุภาคที่มีชีวิตและอนุภาคที่ไม่มีชีวิต เครื่องมือสำคัญในการ  ควบคุมปริมาณอนุภาคใน Clean Room คือ แผ่นกรองอากาศชนิด HEPA (High Efficiency  Particulate Air) ซึ่งสามารถกรองอนุภาคที่มีขนาด 0.3 ไมครอนได้มีประสิทธิภาพถึง 99.97% โดยห้องสะอาดสามารถจำแนกประเภทได้ ดังนี้           

          1.1      ห้อง Clean room Class 1,000 หมายถึง ห้องที่มีอนุภาคขนาด 0.5 ไมครอนหรือใหญ่กว่าไม่เกิน 1,000 อนุภาคต่ออากาศหนึ่งลูกบาศก์ฟุต

                                                                  clean room 1000

 

          1.2      ห้อง Clean room Class 10,000 หมายถึง ห้องที่มีอนุภาคขนาด 0.5 ไมครอนหรือใหญ่กว่าไม่เกิน 10,000 อนุภาคต่ออากาศหนึ่งลูกบาศก์ฟุต 

            Picture for website 200303 0001                                               

          1.3      ห้อง Clean room Class 100,000 หมายถึง ห้องที่มีอนุภาคขนาด 0.5 ไมครอนหรือใหญ่กว่าไม่เกิน 100,000 อนุภาคต่ออากาศหนึ่งลูกบาศก์ฟุต

 

clean room 100000

 

การให้บริการ

          ให้บริการงานเกี่ยวกับการขึ้นรูปหรือเตรียมชิ้นงานเกี่ยวกับชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิค, ชิ้นส่วนจุลภาค, ไมโครฟลูอิดิกส์(microfluidics) และการสร้างโครงสร้างโดยวิธีการลิโธกราฟี (Photo-Lithography) เป็นต้น โดยเครื่องมือที่ให้บริการภายในห้องสะอาด ได้แก่ เครื่องเคลือบโลหะ, เครื่องวัดความหนาและตรวจสอบลักษณะพื้นผิวของชิ้นงานและฟิล์มบาง และห้องปฎิบัติการทางด้านลิโธกราฟฟี (Lithography)

 

Picture1

 

เครื่องมือภายในห้องปฏิบัติการ

 

Picture3

Attachments:
Download this file (00_คู่มือการใช้ห้องปฏิบัติการสะอาด.pdf)00_คู่มือการใช้ห้องปฏิบัติการสะอาด.pdf691 kB4455 Downloads
Download this file (01_คู่มือเครื่อง Bruker  Rev.01.pdf)01_คู่มือเครื่อง Bruker Rev.01.pdf812 kB1033 Downloads
Download this file (02_คู่มือเครื่อง Olympus Microscope -Rev.01.pdf)02_คู่มือเครื่อง Olympus Microscope -Rev.01.pdf451 kB1500 Downloads
Download this file (03_คู่มือเครื่อง-Plasma-1-O2-Ar-CF4.pdf)03_คู่มือเครื่อง-Plasma-1-O2-Ar-CF4.pdf326 kB573 Downloads
Download this file (04_คู่มือเครื่อง-Plasma-3-O2-Ar-2 Rev.01.pdf)04_คู่มือเครื่อง-Plasma-3-O2-Ar-2 Rev.01.pdf664 kB797 Downloads
Download this file (05_คู่มือเครื่อง DC-RF magnetron sputtering (สปัตเตอริง 3 หัว).pdf)05_คู่มือเครื่อง DC-RF magnetron sputtering (สปัตเตอริง 3 หัว).pdf1491 kB845 Downloads
Download this file (06_คู่มือเครื่อง DC-RF magnetron sputtering (สปัตเตอริง1 หัว).pdf)06_คู่มือเครื่อง DC-RF magnetron sputtering (สปัตเตอริง1 หัว).pdf1108 kB640 Downloads
Download this file (07_คู่มือเครื่อง-Thermal-Evaporation Rev.01.pdf)07_คู่มือเครื่อง-Thermal-Evaporation Rev.01.pdf790 kB683 Downloads
Download this file (08-E-beam Evaporation_Technical report Al Rev.02.pdf)08-E-beam Evaporation_Technical report Al Rev.02.pdf555 kB641 Downloads
Download this file (09_คู่มือเครื่องSpin coater Rev.01.pdf)09_คู่มือเครื่องSpin coater Rev.01.pdf903 kB773 Downloads
Download this file (10_คู่มือเครื่องกวนสารให้ความร้อน-Rev.01.pdf)10_คู่มือเครื่องกวนสารให้ความร้อน-Rev.01.pdf142 kB668 Downloads
Download this file (11_คู่มือเครื่อง UV Alignment Rev.01.pdf)11_คู่มือเครื่อง UV Alignment Rev.01.pdf844 kB648 Downloads
Download this file (12_คู่มือเครื่อง EBL Rev.01.pdf)12_คู่มือเครื่อง EBL Rev.01.pdf763 kB633 Downloads
Download this file (13-คู่มือเครื่อง FE-SEM Rev.02.pdf)13-คู่มือเครื่อง FE-SEM Rev.02.pdf567 kB1281 Downloads