ห้องปฏิบัติการ Microsystems
เป็นห้องปฏิบัติการที่รองรับการผลิตและทดสอบชิ้นส่วนจุลภาครวมถึงอุปกรณ์เซ็นเซอร์ชนิดต่าง ๆ ที่เกิดจากการประยุกต์ใช้อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการ Micromachining และระบบลำเลียงแสง 6: Deep X-ray Lithography (DXL) ณ สถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน) ซึ่งห้องปฏิบัติห้องปฏิบัติการ Microsystems จะประกอบด้วยห้องปฏิบัติย่อยที่จำเพาะกับกระบวนการทำงาน ได้แก่ ห้องปฏิบัติการสะอาด (Clean room), ห้องปฏิบัติการบนชิป (Lab on a chip), ห้องปฏิบัติการอิเล็กทรอนิกส์ (Electronic laboratory) และห้องปฏิบัติการสำหรับสร้างชิ้นส่วนจุลภาค (Micromachining and wet chemical laboratory)
