การเคลือบผิวตัวอย่างด้วยการหมุนเหวี่ยง (Spin coating)
รูปที่ 1 เครื่องเคลือบผิวตัวอย่างด้วยการหมุนเหวี่ยง
กระบวนการการเคลือบผิวตัวอย่างด้วยเครื่องเคลือบผิวแบบหมุนเหวี่ยง (Spin coating) เทคนิคการเคลือบฟิล์มแบบหมุนเหวี่ยงเป็นวิธีการเคลือบฟิล์ม ด้วยสารเคลือบหรือสารไวแสงที่เป็นของเหลวโดยอาศัยแรงหนีศูนย์กลาง เมื่อทำการหยดสารสารเคลือบหรือสารไวแสงที่เป็นของเหลวบนจุดศูนย์กลางของวัสดุฐานหรือชิ้นงาน (Substrate) แล้วเหวี่ยงด้วยความเร็วสูง สารเคลือบจะกระจายตัวทั่ววัสดุฐานเกิดเป็นชั้นฟิล์มเคลือบบนผิวหน้าวัสดุ ซึ่งความหนาของชั้นฟิล์มจะขึ้นอยู่กับปัจจัยต่างๆ ดังนี้ ชนิดของสารเคลือบที่ความหนืดของสารเคลือบ (Viscosity)ต่างกัน และความสัมพันธ์ระหว่างความเร็วในการหมุนกับเวลาในการหมุน การเคลือบแบบหมุนเหวี่ยง (Spin coating) มี 4 ขั้นตอน (แสดงดังรูปที่ 2) ดังนี้
1. (Deposition) การหยดสารเคลือบลงบนวัสดุฐานรองที่ติดตั้งบนฐานหมุน
2. (Spin-up) หมุนวัสดุฐานรองด้วยความเร็วสูงโดยใช้ความสัมพันธ์ระหว่างความเร็วในการหมุนกับระยะเวลาในการหมุนเพื่อให้ได้ความหนาตามที่ต้องการ
3. (Spin-off) หยุดหมุนวัสดุฐานรองตามเวลาที่กำหนดในขั้นตอนนี้สารเคลือบจะกระจายทั่วผิววัสดุฐานรอง
4. (Evaporation) ขั้นตอนการระเหยสารประกอบอื่น ๆ ออกไป เพื่อให้โมเลกุลของสารเกิดการฟอร์มตัวโดยปกติจะใช้ความร้อนในการช่วยการระเหย
รูปที่ 2 ขั้นตอนการเคลือบแบบหมุนเหวี่ยง