ข้อมูลทั่วไป                                                                                                     

          ห้องปฏิบัติการระบบลำเลียงแสงที่ 6 DXL (Deep X-ray Lithography) เป็นห้องปฏิบัติการที่ให้บริการในการอาบรังสีเอกซ์ (X-ray) ในกระบวนการ X-ray lithography ซึ่งเป็นกระบวนการในการสร้างโครงสร้าง 3 มิติ หรือชิ้นส่วนขนาดเล็กในระดับจุลภาค เช่น การสร้างแม่พิมพ์ของโครงสร้างขนาดจุลภาค, การสร้างแม่พิมพ์ช่องทางการไหลของของไหลขนาดจุลภาค และการสร้างชิ้นส่วนขนาดจุลภาค เป็นต้น โดยใช้ประโยชน์จากรังสีเอกซ์ที่ได้คัดกรองได้จากแสงซินโครตรอน ซึ่งแสงซินโครตรอนที่เกิดจากการเลี้ยวโค้งของอนุภาคอิเล็กตรอนที่เลี้ยวโค้งในสนามแม่เหล็กที่ bending magnet 6 (BM6)  จะถูกลำเลียงผ่านphoton mask 1 ซึ่งทำหน้าที่กำหนดขนาดความกว้างของแสงซินโครตรอนที่ออกมาจาก BM6 ต่อจากนั้น แสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่าน photon beam position monitoring (PBPM) และ heat absorber shutter (ABS) ซึ่งทำหน้าที่ปิดกั้นแสงซินโครตรอนไม่ให้ผ่านเข้าไปในระบบลำเลียงแสง ระบบลำเลียงแสงส่วนนี้ถูกแยกออกจากระบบลำเลียงแสงส่วนถัดไปด้วย pneumatic valve 1 (PV1)  เมื่อเปิด PV1 แสงซินโครตรอนจะตกกระทบกับกระจก collimating mirror (CM) ซึ่งทำหน้าที่รวมลำแสงซินโครตรอนให้ขนานกัน ผ่าน PV2 ซึ่งทำหน้าที่แยกส่วนของกระจกกับระบบถัดไป เมื่อ PV2 เปิด แสงที่ออกจากกระจกจะเข้าสู่ beam shutter (BS) ซึ่งทำหน้าที่กั้นรังสีทุติยภูมิเข้าสู่ระบบลำเลียงแสงบริเวณโถงทดลอง หลังจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกลำเลียงผ่านท่อลำเลียงเข้าสู่บริเวณโถงทดลอง ซึ่งมี PV3 ทำหน้าที่แยกระบบลำเลียงแสงบริเวณ front end ออกจากบริเวณโถงทดลอง ซึ่งเมื่อเปิด PV3 แสงซินโครตรอนจะผ่านเข้าสู่  wire scan และ screen ซึ่งเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการตรวจวัดขนาดของลำแสงที่ออกจากกระจก ต่อจากนั้นแสงซินโครตรอนจะถูกคัดกรองด้วย Be window 1 เพื่อคัดกรอกแสงที่มีพลังงานในย่านรังสีเอกซ์ (2-8 keV) ผ่าน PV4 และ PV6 ตามลำดับ หลังจากนั้น รังสีเอกส์จะถูกลำเลียงผ่าน Be window 2 ซึ่งทำหน้าที่คัดกรองรังสีเอกซ์และแยกระบบลำเลียงแสงในส่วนของโถงทดลองออกจากส่วนสถานีวิจัย และผ่าน PV7 เข้าสู่ X-ray scanner สำหรับใช้ในกระบวนการX-ray lithography ซึ่งอยู่ภายในห้องปฏิบัติการสะอาด (Clean room) ห้อง Clean room Class 10,000

 

Picture5

IMG 2348

 

การให้บริการ

          ห้องปฏิบัติการระบบลำเลียงแสงที่ 6 DXL เป็นระบบลำเลียงแสงที่ใช้ประโยชน์จากรังสีเอกซ์ร่วมกับระบบลำเลียงแสงที่ 6b micro-XRF ดังนั้นในการให้บริการ ผู้ใช้บริการสามารถติดต่อเพื่อขอเข้าใช้บริการได้ 3 ช่องทางหลัก คือ การติดต่อผ่านเจ้าหน้าที่ของระบบลำเลียงแสงโดยตรง, การติดต่อผ่านส่วนงานบริการผู้ใช้, และการติดต่อผ่านส่วนงานพัฒนาธุรกิจ ซึ่งผู้ใช้บริการสามารถศึกษาขั้นตอนในการขอใช้บริการได้ที่หน้าเว็บไซต์ของระบบลำเลียงแสงที่ 6 DXL หลังจากนั้นเจ้าหน้าที่ประจำห้องปฏิบัติการจะจัดสรรช่วงเวลาในการเข้าใช้ห้องปฏิบัติการให้กับผู้ใช้บริการในลำดับต่อไป

 

bl6a ๑๙๐๗๒๔ 0049

ค่ายจิตรลดา 63 200203 0013

 

video3

 

 

Attachments:
Download this file (คู่มือการใช้งานห้องปฏิบัติการ DXL.pdf)คู่มือการใช้งานห้องปฏิบัติการ DXL.pdf594 kB489 Downloads