การพัฒนาปั๊มสุญญากาศชนิดNon-Evaporable Getters (NEG) Non-Evaporable Getters (NEG) Pump Development

การพัฒนาปั๊มสุญญากาศชนิด Non-Evaporable Getters หรือ NEG Pump ซึ่งเป็นปั๊มสุญญากาศที่ใช้สำหรับสร้างสภาวะสุญญากาศระดับสูงยิ่งยวด (Ultra-High Vacuum: UHV) นิยมใช้ในระบบสุญญากาศของเครื่องกำเนิดแสงซิน

โครตรอน ปั๊มชนิดนี้มีขนาดเล็กน้ำหนักเบาไม่มีชิ้นส่วนเคลื่อนไหว และไม่ต้องใช้พลังงานขณะที่ปั๊มทำงาน NEG Pump จัดอยู่ในกลุ่มของปั๊มดูดซับ (Sorption Pump) ภายในตัวปั๊มประกอบด้วยเม็ดโลหะที่ทำจากผงโลหะผสมอัดเม็ด (NEG Pills) เช่น Zirconium, Vanadium และ Iron ในอัตราส่วนที่เหมาะสมเมื่อทำการกระตุ้นการทำงาน (Activate) ด้วยความร้อนประมาณ 400 °C เป็นเวลาอย่างน้อย 1 ชั่วโมง แล้วปล่อยให้เย็นลงที่อุณหภูมิห้อง NEG Pills จะมีคุณสมบัติดีเยี่ยมในการดูดซับโมเลกุลของแก๊สในระบบสุญญากาศเช่น H2O, CO, CO2, O2และ N2 เป็นต้น NEG Pump ตัวต้นแบบที่ได้ทำการพัฒนาขึ้นนี้อยู่ระหว่างการทดสอบการทำงาน เบื้องต้นพบว่าสามารถสร้างสภาวะสุญญากาศได้ในระดับ UHV ที่ค่าความดันต่ำกว่า 5.0 x 10-10torr

Design of Prototype NEG Pump

NEG Pump Performance Testing

NEG pump maintains UHV in vacuum chamber