ดูผลงานเด่นทั้งหมด
การพัฒนาระบบเคลือบแข็งยิ่งยวดด้วยเทคนิคการตกสะสมด้วยไอออนเชิงกายภาพบนอุปกรณ์ตัดเฉือน
ดร.นิติศักด์ ปาสาจะ, ผศ.ดร.พิษณุ พูลเจริญศิลป์ และผศ.ดร.อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
นายปิยวัฒน์ ปรึกไธสง นายเกริกฤทธิ์ สิทธิศาสตร์ และคณะวิศวกร ส่วนระบบเชิงกลและส่วนการผลิต
สถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน)
สถาบันฯ ทำการวิจัยร่วมกับภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม ในการพัฒนาระบบเคลือบแข็งยิ่งยวดด้วยเทคนิคการตกสะสมด้วยไอออนเชิงกายภาพบนอุปกรณ์ตัดเฉือนเป็นการให้บริการงานด้านเทคนิคและวิศวกรรมของสถาบันวิจัยแสงซินโครตรอน (องค์การมหาชน) ซึ่งเป็นการนำองค์ความรู้ที่สั่งสมมานานจากการให้บริการเทคโนโลยีแสงซินโครตรอน เกี่ยวกับการจัดสร้างระบบสุญญากาศระดับห้องปฏิบัติการสำหรับใช้ในงานวิจัยด้านการเคลือบแข็งยิ่งยวดหรือที่รู้จักกันทั่วไปในนามเทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศ เพื่อมุ่งศึกษาและพัฒนางานวิจัยการเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศให้สามารถนำไปใช้ได้จริงทั้งในระดับอุตสาหกรรมชั้นนำของประเทศแนวคิดการออกแบบงานนี้ เน้นการลดต้นทุนการนำเข้าระบบห้องเคลือบสุญญากาศด้วยการผลิตทดแทนด้วยฝีมือคนไทย ผลิตเครื่องที่มีประสิทธิภาพสูง สร้างสภาวะสุญญากาศในเวลาอันรวดเร็ว ใช้งานง่ายดูแลรักษาง่าย เป็นมิตรต่อผู้ใช้ และรองรับการดัดแปลงตามความต้องการของผู้ใช้งาน
โดยทางสถาบันฯได้ดำเนินการออกแบบและจัดสร้างเคลือบแข็งยิ่งยวดด้วยเทคนิคการตกสะสมด้วยไอออนเชิงกายภาพบนอุปกรณ์ตัดเฉือนนี้ขึ้น ซึ่งเป็นห้องสุญญากาศทำจากท่อสแตนเลส ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 550 มิลลิเมตร ความสูง 400 มิลลิเมตร และหน้าแปลนมาตรฐานต่างๆ โดยทีมวิศวกรได้ตรวจวัดความดันในห้องเคลือบซึ่งมีความเป็นสุญญากาศที่ระดับ 1x10-6ทอร์ (torr)ซึ่งมีฐานรองรองรับ(Support)พร้อมล้อเลื่อน และมีชุดกระบอกลมยกฝาบน(Pneumatic Lifter)ตามลำดับ ซึ่งเครื่องเคลือบชนิดนี้ ถูกนำไปใช้ในการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนเสมือนเพชร หรือ ฟิล์มชนิดอื่น ๆ เช่น ไทเทเนียมไนไตรด์ โครเมียมไนไตรด์ เป็นต้น สำหรับการนำไปใช้งานในด้านอุปกรณ์ตัดเฉือน
สารจากประธานกรรมการและสารจากผู้อำนวยการ
ประวัติความเป็นมา
คณะกรรมการและคณะผู้บริหาร
รางวัลแห่งความภาคภูมิใจ
โครงการ 3 GeV
การพัฒนาและการดำเนินงาน
การพัฒนาและการเดินเครื่องกำเนิดแสงซินโครตรอน
การพัฒนาระบบลำเลียงแสงและสถานีทดลอง
การดำเนินงานด้านเทคนิคและวิศวกรรม
การดำเนินงานด้านความปลอดภัย
สถิติการให้บริการ
การให้บริการแสงซินโครตรอน และการถ่ายทอดเทคโนโลยี แก่ภาคอุตสาหกรรม
มูลค่าเพิ่มทางเศรษฐกิจ
ผลงานวิจัยเด่น
พนักงานดีเด่น
ผลงานดีเด่น
กิจกรรมเด่น
สารจากประธานกรรมการและสารจาก
ผู้อำนวยการ
ประวัติความเป็นมา
คณะกรรมการและคณะผู้บริหาร
รางวัลแห่งความภาคภูมิใจ
โครงการ 3 GeV
การพัฒนาและการดำเนินงาน
การพัฒนาและการเดินเครื่องกำเนิด
แสงซินโครตรอน
การพัฒนาระบบลำเลียงแสงและ
สถานีทดลอง
การดำเนินงานด้านเทคนิคและ
วิศวกรรม
การดำเนินงานด้านความปลอดภัย
สถิติการให้บริการ
การให้บริการแสงซินโครตรอน และการถ่ายทอดเทคโนโลยี แก่ภาคอุตสาหกรรม
มูลค่าเพิ่มทางเศรษฐกิจ
ผลงานวิจัยเด่น
พนักงานดีเด่น
ผลงานดีเด่น
กิจกรรมเด่น
การเผยแพร่ผลงานวิจัย