ระบบลำเลียงแสงและสถานีทดลองที่ 6a : Deep X-ray Lithography (DXL)

ชุดกระจกโฟกัสแสงซินโครตรอนจำนวน 5 ชุดได้รับมาจากสถาบัน DeutschesElektronen-Synchrotron (DESY) สหพันธ์สาธารณรัฐเยอรมนีเมื่อ พ.ศ. 2556 และชุดกระจก A2 ซึ่งเป็นกระจกผิวเรียบ ขับเคลื่อนได้ 3 ทิศทางได้ถูกติดตั้งเพื่อใช้ลำเลียงแสงซินโครตรอน ณ ระบบลำเลียงแสงที่ 6 สำหรับเทคนิคการผลิตชิ้นส่วนจุลภาค Deep X-ray Lithography (DXL) โดยทำหน้าที่โฟกัสแสงซินโครตรอนในแนวดิ่งให้มีขนาดลดลงจาก 8.6 mm เหลือเพียง 2 mm และเพิ่มความเข้มต่อพื้นที่ขึ้น 3.6 เท่า ส่งผลให้ระยะเวลาในการแสกนชิ้นงานเพื่ออาบรังสีเอกซ์ลดลง 20% ในทุกๆรอบการอาบรังสีเอกซ์ลงบนชิ้นงาน และได้เปิดให้บริการแก่ผู้ใช้ในเดือนตุลาคม 2562 แก่ผู้ใช้ได้เป็นผลสำเร็จ

กระจกโฟกัสแสงซินโครตรอนติดตั้งที่ระบบลำเลียงแสงที่ 6

ขนาดของลำแสงซินโครตรอนก่อนและหลังการติดตั้งอุปกรณ์

โครงสร้างจุลภาคสัดส่วนสูงความละเอียด 5 ไมโครเมตรที่สร้างด้วยเทคนิค Deep X-ray Lithography